Diese Luftbefeuchter heizen das Wasser in einem Zylinder auf und erzeugen Dampf, der über ein Gebläse oder ein Verteilrohr in die Raumluft gelangt. Geheizt wird entweder mit im Wasser liegenden Tauchelektroden oder mit Widerstands-Heizelementen.
Die Luftbefeuchtung mit Dampf ist besonders sauber, weil Mineralien und Schmutz im Dampfzylinder zurückbleiben. Anderseits ist der Energieverbrauch verhältnismässig hoch.